SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입… 운영 효율·수율 개선

입력2023.01.10. 오전 11:17

충북 청주 SK하이닉스 M15 공장 전경. /조선DB
SK하이닉스는 10일 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율과 수율 개선에 나섰다고 밝혔다.

SK하이닉스에 따르면 지난해 11월 회사가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 가우스랩스는 최근 가상 계측 AI 솔루션 ‘판옵테스(Panoptes) VM’ 소프트웨어 제품을 출시했다. SK하이닉스는 지난해 12월부터 판옵테스 VM을 양산 팹에 도입해 사용하고 있다.

판옵테스 VM이 가장 먼저 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 그러나 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요된다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다. 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결괏값을 APC(장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 솔루션)와 연동하여 공정 산포를 평균 21.5%까지 개선하고 수율까지 향상되는 효과를 얻었다.

SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정을 제외한 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다. AI 기술을 활용한 가상 계측 모델은 실제 계측 장비와 유사한 정확도를 보인다. 가상 계측을 통해 제조사는 100% 전수 검사하는 것과 비슷한 효과를 얻을 수 있다는 게 회사의 설명이다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “SK하이닉스는 가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리(Smart Factory) 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목하여 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이며 이번 판옵테스 VM 도입은 시작일 뿐이다”라고 밝혔다.
 

김민국 기자 mansay@chosunbiz.com